近日，科技部国家重点研发计划“增材制造与激光制造”重点专项2024年度项目名单揭晓，国内飞秒激光器领军企业奥创光子传来捷报——由其牵头申报的“紫外飞秒光丝铝基碳化硅高速精密切片技术应用项目”正式立项。这标志着我国在高端半导体核心工艺装备领域实现关键技术突围，加速推进国产替代进程。

作为国家级专精特新“小巨人”企业，奥创光子依托西安光机所创始团队技术积淀，组建了涵盖加拿大器件专家、立陶宛光学工程师等国际人才的研发梯队。团队曾主导《激光超声复合精密制造技术与装备》等多项国家及省级重大专项，其“核心器件先行”战略已实现激光器90%核心部件自主研发，构建起完整可控的技术链条。

此次立项项目聚焦半导体制造关键环节，针对紫外飞秒激光器产业化世界级难题展开攻坚。项目负责人介绍，紫外波段超短脉冲兼具化学键裂解能力与精密加工优势，但高能紫外辐射易导致光学元件膜层劣化，致使全球市场高能飞秒紫外激光器稀缺。研发团队通过对20余家国际光学基片供应商的产品系统性筛选，联合国内外镀膜机构完成3000小时耐久性测试，独创的“紫外膜系矩阵评估体系”将关键光学元件寿命提升至行业平均水平的2.3倍。

更值得关注的是，该项目创新性地开发出定制化加工头与实时监测模块，在铝基碳化硅复合材料加工中实现微米级精度控制。据行业测算，该技术产业化后可提升半导体封装效率40%，降低能耗28%，相关设备国产化率有望突破75%。

目前，奥创光子已与上下游12家产业链企业建立协同创新机制，其眼科全飞秒激光手术设备国产化项目进入临床阶段。企业CTO表示，未来三年将投入2.5亿元建设半导体高端装备研发中心，重点突破极紫外光刻配套激光源等战略领域，力争在2026年前形成具有国际竞争力的光电子产业集群。

业内人士分析，此次技术突破不仅打破国外在精密激光装备领域的技术封锁，更将带动千亿级精密光学元件市场发展，为我国先进制造业转型升级注入强劲动能。随着国家重大专项的持续推进，中国半导体装备产业正从“跟跑”转向“并跑”，在光刻机、刻蚀机等核心设备领域加速构建自主创新生态。